大师天生不食荤腥，七岁出家，拜清凉庵容选和尚为师，15岁正式剃发。大师聪慧爽朗，经典过目不忘，诗文书法无一不精。时常到第十祖师截流大师的普仁寺走走，正巧看到一位僧人倒地猝死。这使大师顿悟世间无常，益加鞭策自己。24岁时，大师在昭庆寺受具足戒，从此严习戒律，不离衣钵，日中一食，胁不沾席，并习以为常。从此昼夜研习，探求真谛。不到三年，大乘佛学三观十乘之旨，性相之学，全部融会贯通。绍昙法师即为大师授记为天台正宗、灵峰四世。

   公元1714年，二十九岁当年，大师叩拜灵鹫和尚于崇福寺，参话头“念佛是谁”4个多月，忽然开悟，说“我的梦醒了”。自此以后，机锋迅利，思维敏捷，辩才无碍。灵鹫和尚欲以衣拂相授，传住持之位，大师不受而辞。从此掩关于真寂寺，白天读《大藏经》，夜晚持佛名号。3年期满，众人请大师开讲《法华经》。大师升座开演，口若悬河，词如泉涌，滔滔不绝。

公元1719年，省庵大师移锡杭州梵天寺，他的《劝发菩提心文》便诞生于此。由于省庵大师身教言传，名声远扬，影响四方。

省庵大师后来退居杭州仙林寺，净心念佛，足不出户，摒绝诸缘，专修净业。同时创立“莲社”，领众念佛，策励同修精进念佛，坚固深信，被世人称之为“永明延寿大师”再来。

公元1733年，大师普告众弟子：吾将于明年四月十四日长往矣。省庵大师于四月十日，见西方三圣降临虚空，于是遍告大众：今吾生净土乎，尔等为我集众念佛。十四日五更时沐浴更衣，西向趺坐，安然示寂。而后腊月初八，众弟子将大师灵骨请回常熟琴川。

清朝乾隆七年二月十五日，杭州一带的弟子有奉请遗骨重建舍利塔于阿育王寺。常熟的旧塔便改为“衣钵塔”。